Excelitas Technologies präsentierte ein neues F-Theta-Objektiv mit reduziertem Ausgasverhalten. Das Quarzglasobjektiv aus der Reihe LINOS UV F-Theta-Ronar eignet sich besonders für die Halbleiterfertigung sowie generell für die UV-Laserbearbeitung mit hohen Leistungen und kurzen Pulsen. Es ist mit einer High-End-Breitbandbeschichtung versehen und für den Wellenlängenbereich von 340 bis 360 nm optimiert. Die hochwertige optische Konstruktion gewährleistet minimierte Rückreflexionen und höchst uniforme Spot-Größen über das gesamte Scanfeld. Bei einer Laseraustrittsöffnung von 15 mm beträgt die minimale Spotgröße 11 µm.

Das F-Theta-Objektiv ist für eine Brennweite von 252 mm ausgelegt. Es eignet sich optimal zum Einsatz mit dem ausgasarmen UV-Strahlaufweiter von Excelitas. Der Hersteller verwendet modernste Produktionstechnologien unter Reinraumbedingungen und erreicht dadurch eine langanhaltende optische Stabilität.

Auch die Materialien für Gehäuse und Staubschutzkappe sind nach ihren geringen Ausgasungseigenschaften ausgewählt. Das F-Theta-Objektiv lässt sich über sein M85x1-Standardgewinde einfach in industrielle Laserapplikationen integrieren. Zielanwendungen sind u.a. Wafer-Verarbeitung, Display-Fertigung und Solarzellenproduktion.